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    激光共聚焦顯微鏡

    產品時間:2024-04-09

    簡要描述:

    激光共聚焦顯微鏡OLS5000能夠通過非接觸、非破壞的觀察方式輕松實現 3D 觀察和測量。

    激光共聚焦顯微鏡OLS5000可觀察納米范圍的臺階,并可測量亞微米級別的高度差。還可以測量從線到面的表面粗糙度。配備的兩套光學系統(彩色成像光學系統和激光共焦光學系統)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

    激光共聚焦顯微鏡OLS5000的關鍵

    捕捉任意表面形狀。

    快速獲得可靠數據。

    使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。

    測量具有挑戰性的樣品。

    價值1:捕捉任意表面形狀。 

       

    OLS5000顯微鏡使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

    價值2、快速獲得可靠數據

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     該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,實現生產力的提升。

    價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

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    LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能,因而無需進行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

    價值4、可測量具有挑戰性的樣品

     

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    低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。

    獲取彩色信息
    彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
    [獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
    激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

    納米激光光源

    光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得橫向分辨率。

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    激光共焦光學系統

    激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

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    X-Y掃描儀

    OLS5000顯微鏡配有光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。

    高度測量原理

    在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
    根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。

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